Máy đo biên dạng Mahr MarSurf CD 140 A

Máy đo biên dạng Mahr MarSurf CD 140 A có xuất xứ từ Đức. Là thiết bị kiểm tra biên dạng; trong nhiều lĩnh vực như: cơ khí, công nghiệp ô tô, đo lường sản xuất bán tự động, y học,…

Trục chuyển động:
- Thời gian đo ngắn nhờ tốc độ đo và định vị nhanh.
- Trục X và Z hoàn toàn tự động để vận hành tự chủ.
- Thay đổi đầu dò nhanh chóng, không cần dụng cụ nhờ kẹp từ tính – mà không cần hiệu chuẩn lại.
- Tự động nhận dạng cánh tay đầu dò giúp tăng tốc quá trình đo và ngăn chặn các phép đo sai.
Hệ thống thăm dò thông minh:

Xác định các nhánh thăm dò thông qua wafer.

Hệ thống đầu dò ổn định.

Phạm vi đo lớn cho nhiều ứng dụng – tiêu chuẩn 70 mm đến 100 mm với cánh tay dò 490mm.

Đầu dò từ tính có thể thay thế đầu dò dễ dàng không cần dụng cụ.

Nhiều loại cánh tay đầu dò và phụ kiện.

Đo độ nhám tùy chọn Rz >2μm.

Thông số kỹ thuật:
Máy đo biên dạng Mahr MarSurf CD 140
- Độ phân giải: tối đa 6 nm (đầu đo 210 mm)
- Điểm bắt đầu chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 0.1 mm
- Chiều dài que đo: 210 mm; 350 mm; 490 mm
- Điểm kết thúc chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 140 mm
- 350 mm Z-Achse
- Có điều chỉnh góc trục X
- Tốc độ định vị: 0.02 – 200 mm/s (trục X)
- Độ lệch: 0.350 µm / 60 mm,0.400 µm / 140 mm
- Tốc độ đo: 0.02 – 10 mm/s
- Dải đo:70 mm (trục Z với đầu đo 350 mm) tối đa 100 mm (đầu đo 490 mm)
- Lực đo:4 mN-30 mN, trục Z+ và Z-, điều chỉnh bằng phần mềm